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高科技產業中因應產品的製造，往往需要使用許多化學品。大部分的化學品或反應生成物都具有相當的危害性。
這些化學品及反應物不慎洩漏，不僅造成人員身體不適，更可能會危害到生命安全。發生意外的若是可燃性或自燃性的化學品，所造成生命及財產的損失更是不在話下。
因此本文會探討兩個常見的案例 (矽甲烷、TMAH)
⭐高科技廠常使用的化學品列表
高科技廠常使用的化學品
參考資料：安衛中心-危害性化學品管理實務訓練
底下舉兩個常見的案例 (矽甲烷、TMAH) 來跟大家介紹：
【矽甲烷】
▶用途
製作面板、半導體、薄膜太陽能電池的化學原料
▶特色
矽甲烷燃點低，與空氣結合很容易就會起火。毒性低，除非瞬間大量吸入，才會對人體產生毒性影響。
▶案例一：矽甲烷鋼瓶外洩起火
載運矽甲烷鋼瓶大貨車，在苗140縣道大迴轉，疑迴轉速度太過，造成鋼瓶鬆動碰撞外洩。只能讓它燃燒完。灑水無法滅火，只能降溫冷卻鋼瓶，避免爆炸。
參考新聞：貨車大迴轉 矽甲烷鋼瓶外洩起火飄毒煙 (資料來源：2017年5月25日蘋果日報)
參考影片：20170525【LIVE大現場】封路搶救！鋼瓶壞”矽甲烷”外洩 火燒車濃煙嚇人！｜三立新聞台 (資料來源：2017年5月25日三立新聞台)
▶案例二：矽甲烷外洩起火
氣體廠內有16支，各12公斤矽甲烷鋼瓶，1支外洩燃燒。 由於氣體屬易燃物質，且有毒性。抵達現場趕緊灑水降溫，燃燒完需約1小時。其它鋼瓶沒受到影響。
參考新聞：頭份中普氣體矽甲烷外洩 緊急灑水降溫 (資料來源：2017年6月29日自由時報)
▶存放位置
矽甲烷應儲存於室外安全處所，可通風稀釋濃度，且旁有矮牆，以避免竄燒。 如必須於室內儲存者，應置於有效通風換氣 之處所，使用時應置氣瓶櫃內。
▶緊急應變流程
矽甲烷氣體洩漏引發一般火災之應變流程圖(僅供參考)
參考資料：經濟部工業局98 年度「中小企業工作環境改善計畫」
【 氫氧化四甲基銨 (TMAH) 】
▶用途
液晶顯示器產業、半導體、光電產業中使用，主要在使用玻璃基板時的光顯影製程中做為顯影劑之用。又因其為極強的鹼性溶液(PH值高達13以上)，可作為清潔晶圓之溶劑使用。
▶特色
健康危害分成兩部分：
- OH- 基，強鹼與腐蝕性，會造成皮發及黏膜組織灼傷。
- TMA+ 基，類似毒螺類神經毒素，造成呼吸肌肉停止，心跳減緩，腦部缺氧死亡。
▶案例：2007/2/16 高雄TMAH供應商，從事輸送管線檢修，發生與化學品接觸致死
某陳姓員工發現無法將TMAH泵送至化學槽車，康姓領班察覺過濾系統異常，於是打開防護門查看。此時泵浦出口端管線90度彎管接頭突然破裂，導致TMAH噴濺到兩名員工全身。二人跑到沖身洗眼器沖水，但傷勢嚴重仍不治身亡。死因：呼吸道肺水腫、化學灼傷、化學性肺炎併急性呼吸衰竭。
參考新聞：http://web.ntnu.edu.tw/~495701396/
▶建議噴濺處置
到院前處理原則：依據症狀處理，目前並無有效解毒劑。
- 盡速脫除污染衣物。
- 使用敵氟靈噴劑：敵腐靈具有Amphoteric (兩性) 的特性， 可以中和OH-，並與TMA+結合，減緩TMA+滲入組織液中。 注意，敵腐靈與六氟靈或葡萄酸鈣皆不可通用。
- 使用大量清水沖洗15分鐘(期間趕緊求救)，並給予毛毯保溫。
- 給予氧氣使用。
- 監控生命徵象：(心跳、呼吸速率、體溫、血壓、意識)若呼吸 停止給予正壓呼吸器按壓；若心跳停止給予心肺復甦術(CPR) 或使用電擊器。
6.立即送醫。
▶災害防治對策
- 對氫氧化甲基銨溶液 (25%TMAH) 建立完整的安全資料表SDS，供勞工及使用廠商必要之安全衛生危害辨識及防護。
- 對於可能接觸TMAH運送、操作或廢棄物處理等工作人員，應加強毒性危害教育訓練。
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